PBN triiklid

Semicorexi pürolüütilise boori nitriidi PBN Cricbles on täpsusmootoriga komponendid, mis on loodud vastama kõrgete temperatuuride ja ülikõrgete protsesside rangetele nõudmistele sellistes tööstusharudes nagu pooljuhtide tootmine, kristallide kasv ja vaakumisrakendused. Keemilise aurude ladestumise (CVD) kaudu valmistatud PBN -i triiklid pakuvad suurepärast puhtust, erakordset termilist stabiilsust ja silmapaistvat keemilist inertsust, muutes need arenenud materjalide insenerides valitud materjali.

Kuna booron -nitriidil on soojuspaisumistegur, mis on võrreldav kvartsi omaga, kuid selle soojusjuhtivus on 10 korda suurem, on sellel suurepärane termiline šokikindlus, mis võib vähendada kiirete temperatuuri muutuste tõttu pragunemisriski ja seda saab mitu korda 20 ~ 1200 ℃ ilma probleemideta tsüklida. Lisaks ei reageeri booron nitriid hapete, leelise, klaasi ja enamiku metallidega ning sellel on madal mehaaniline tugevus, vaid pisut kõrgem kui grafiit, kuid ei pehmene kõrgel temperatuuril koormuse all ja seda saab töödelda üldiste metalli töötlemise masinate abil. Seetõttu sobib see tõepoolest kasutamiseks tiigli, vedeliku, vedela metalli manustamisest toru ja hallitusena terasest valamiseks ja metallide aurustamiseks.

Tavaliselt valmistatakse seda keemilise aurude ladestumise teel, kasutades boori sisaldavat gaasi (BCL3 või B2H6) toorainena, kuid kuna B2H6 on väga toksiline, kasutatakse BCL3 praegu toorainena. Boori sisaldav gaas läbib pürolüüsi (1500 ~ 1800 ℃) ja reageerib NH3-ga kõrge temperatuuriga reaktsioonikambris, moodustades tahke boori nitriidi. Kuna pürolüüs toimub reaktsiooni ajal, kutsutakse seda kapürolüütiline boornitriidtiiglis (üldiselt tuntud kui PBN tiiglid).

Materjali kasvuprotsess sarnaneb "langeva lumega", see tähendab, et reaktsioonis kasvatatud kuusnurkseid BN -lumehelbeid kuhjatakse pidevalt kuumutatud grafiidi substraadile (tuumavorm). Aja möödudes pakseneb akumuleerumiskiht, moodustades PBN -koore. DeMolding on iseseisev, puhas PBN -komponent ja sellele on jäänud PBN -kate. Kuna PBN -i triiklid ei pea läbima traditsioonilise kuuma vajutamisprotsessi ega pea lisama ühtegi paagutamist, on sellel väga kõrge puhtus (üle 99,99%) ja töötemperatuur vaakumis on koguni 1800 kraadi ja atmosfääri kaitse all olev töötemperatuur võib ulatuda kuni 2100 ° C (tavaliselt nitrogeen või argoon). Seda kasutatakse enamasti aurustumise/molekulaarkiire epitaksia (MBE)/GaAS kristallide kasvu ja muude eesmärkide korral.