PBN komposiitküttekehad

Semicorex PBN komposiitküttekehad ühendavad pürolüütilise grafiidi suurepärase soojusjuhtivuse koos pürolüütilise boori nitriidi keemilise inertsuse ja elektrilise isolatsiooniga. Need küttekehad on ehitatud väga kõrge puhtuse grafiidist ja PBN -ist, mida rakendatakse kõrge kvaliteediga CVD (keemilise aurude sadestumise) protsessi abil kõrge puhtuse sadestumise tingimustes. Iga individuaalne saavutuskiht on deponeeritud väga äärmise kontrollitavusega, et tagada ülikõrge puhtus ja järjepidevad termilised omadused. Grafiidi südamikku, mis tagab kiire ja ühtlase kuumutamise, on PBN -kapsli oksüdeerimise ja saastumise eest kaitstud; See muudab küttekeha ideaalseks vaakumgaasikeskkondade ja inertsete gaasikeskkondade jaoks. Need PBN -küttekehad on mõeldud kasutamiseks MBE (molekulaarkiire epitaksia) reaktorites, CVD reaktorites ja muudes kristallide kasvusüsteemides.

Pürolüütiline boori nitriid-pürolüütiline grafiidi (PBN-PG) komposiitküttekeha on küttekeha, mis kasutab substraažina suure insulatsiooniga PBN ja kasutab madala rõhuga termilist lagunemist keemilise aurude ladestumist (CVD) madala rõhu all (alla 10Torr) ja kõrge temperatuuri, et katta juhtiv PG. Selle komposiitküttekeha peamised komponendid on pürolüütiline boor nitriid (PBN) ja pürolüütiline grafiit (PG). Suurepärase korrosioonikindluse ja kõrge temperatuurikindluse tõttu kasutatakse seda peamiselt pooljuhtide substraadi kuumutamiseks (kasutatakse MBE, MOCVD -s, pritsimiskattes jne); superjuhtide substraadi kuumutamine; Proovi kuumutamine proovi analüüsimise ajal; elektronmikroskoobi proovi kuumutamine; metalli kuumutamine; metalli aurustumise allikas jne.

PBN -küttekehad taluvad vaakumis kuni 1600 ° C töötemperatuuri ja neil on parem võime taluda termilist šokki mis tahes metallipõhiste alternatiivide suhtes, millele tugineda. Küttekeha pind on äärmiselt sile ja tihe ning tekitab töö ajal oluliselt vähem osakesi, mis on kriitilise tähtsusega rakenduste jaoks, kus saastumist ei saa taluda, näiteks pooljuhtide vahvli töötlemine.

Komposiitkonstruktsioon tagab soojuse pinnal suurepärase termilise ühtluse ja selle takistuslikke teid saab kohandada, et võimaldada kohandatud soojusjaotust. See disain võimaldab kasutatud materjalide samade soojuspaisumistegurite tõttu kiiret suurendamist ja jahutuse tsüklit töötlemise ajal pragunemata ja delaminatsioonita. Elektroodid on võimelised taluma pidevat kõrge voolu toimimist ja ühilduvad ka vaakumis.

Semicorex pakub konkreetsete rakenduste vajaduste rahuldamiseks piiramatut kujunduse paindlikkust ainulaadsete kujude, suuruste ja energiavajaduste jaoks; Olgu tegemist tavaliste vahvlite suuruste või keerukamate geomeetriate jaoks, tagame iga toodetud seadme mõõtmete täpsuse ja termilise ühtluse.

PBN-komposiitküttekehad sobivad suurepäraselt ülikergete rakenduste jaoks, sealhulgas::

• MBE süsteemid III-V ja II-VI ühendi pooljuhtide töötlemiseks
• Optiliste komponentide vaakumkattesüsteemid
• Kristallide kasvusüsteemid safiir ja sic jaoks
• Kõrge puhtusastmega termiline töötlemine teadus- ja arenduslaborikeskkonna jaoks.