Lõõmutamine

Ioonide implanteerimine on protsess, mille käigus kiirendatakse ja siirdatakse lisandiioonid räniplaadile, et muuta selle elektrilisi omadusi. Lõõmutamine on termiline töötlemisprotsess, mis soojendab vahvlit, et parandada implanteerimisprotsessist põhjustatud võrekahjustusi ja aktiveerida lisandiioonid, et saavutada soovitud elektrilised omadused.

1. Ioonide implantatsiooni eesmärk

Ioonide implanteerimine on tänapäevases pooljuhtide tootmises kriitiline protsess. See meetod võimaldab täpselt kontrollida lisandite tüüpi, kontsentratsiooni ja jaotust, mis on vajalikud pooljuhtseadmetes P- ja N-tüüpi piirkondade loomiseks. Ioonide implanteerimisprotsess võib aga tekitada vahvli pinnale kahjustuskihi ja potentsiaalselt häirida kristalli võrestruktuuri, mõjutades negatiivselt seadme jõudlust.

2. Lõõmutamisprotsess

Nende probleemide lahendamiseks viiakse läbi lõõmutamine. See protsess hõlmab vahvli kuumutamist kindla temperatuurini, selle temperatuuri hoidmist teatud aja jooksul ja seejärel jahutamist. Kuumutamine aitab kristallis ümber paigutada aatomeid, taastada selle täielikku võrestruktuuri ja aktiveerida lisandiioonid, võimaldades neil liikuda võres sobivasse asendisse. See optimeerimine suurendab pooljuhtide juhtivust.

3. Lõõmutamise tüübid

Lõõmutamist saab liigitada mitmeks tüübiks, sealhulgas kiire termiline lõõmutamine (RTA), ahju lõõmutamine ja laserlõõmutamine. RTA on laialdaselt kasutatav meetod, mis kasutab vahvli pinna kiireks soojendamiseks suure võimsusega valgusallikat; töötlemisaeg on tavaliselt mõnest sekundist mõne minutini. Ahju lõõmutamine toimub ahjus pikema aja jooksul, saavutades ühtlasema kütteefekti. Laserlõõmutamisel kasutatakse vahvli pinna kiireks soojendamiseks suure energiatarbega lasereid, võimaldades äärmiselt kõrget kuumutamist ja lokaliseeritud kuumutamist.

4. Lõõmutamise mõju seadme jõudlusele

Nõuetekohane lõõmutamine on pooljuhtseadmete jõudluse tagamiseks hädavajalik. See protsess mitte ainult ei paranda ioonide implanteerimisega tekitatud kahjustusi, vaid tagab ka dopandiioonide piisava aktiveerimise soovitud elektriliste omaduste saavutamiseks. Kui lõõmutamine toimub valesti, võib see kaasa tuua vahvli defektide suurenemise, mis kahjustab seadme jõudlust ja võib põhjustada seadme rikke.

Ioonimplantatsioonijärgne lõõmutamine on pooljuhtide valmistamise põhietapp, mis hõlmab vahvli hoolikalt kontrollitud kuumtöötlusprotsessi. Lõõmutamistingimusi optimeerides saab taastada vahvli sõrestikstruktuuri, aktiveerida lisandiioone ning oluliselt tõsta pooljuhtseadmete jõudlust ja töökindlust. Kuna pooljuhtide töötlemise tehnoloogia areneb jätkuvalt, arenevad ka lõõmutamismeetodid, et vastata seadmete kasvavatele jõudlusnõuetele.

Semicorexi pakkumisedkvaliteetsed lahendused lõõmutamisprotsessiks. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com