Mis on SiC-ga kaetud grafiidisusseptor?

Selleks, et tutvustadaSiC-kattega grafiitvastuvõtja, on oluline mõista selle rakendust. Seadmete valmistamisel tuleb mõnele vahvlialusele ehitada täiendavad epitaksiaalsed kihid. Näiteks LED-valgust kiirgavad seadmed nõuavad GaAs epitaksiaalsete kihtide ettevalmistamist ränisubstraatidel; Kuigi SiC kihi kasvatamine SiC substraatidel on vajalik, aitab epitaksiaalkiht konstrueerida seadmeid selliste energiarakenduste jaoks nagu kõrgepinge ja suur vool, näiteks SBD, MOSFET jne. GaN epitaksiaalkiht on vastupidi ehitatud poolisoleerivale SiC-le. substraat seadmete (nt HEMT) edasiseks ehitamiseks raadiosageduslike rakenduste jaoks, nagu side. Selleks tuleb aCVD seadmed(muude tehniliste meetodite hulgas) on nõutav. See seade võib asetada III ja II rühma elemente ning V ja VI rühma elemente kasvu lähtematerjalina substraadi pinnale.

sisseCVD seadmed, ei saa substraati asetada otse metallile ega asetada epitaksiaalseks sadestamiseks lihtsalt alusele. Seda seetõttu, et gaasivoolu suund (horisontaalne, vertikaalne), temperatuur, rõhk, fikseerimine, saasteainete levik jne on kõik tegurid, mis võivad protsessi mõjutada. Seetõttu on vaja susseptorit, kus substraat asetatakse kettale, ja seejärel kasutatakse CVD-tehnoloogiat, et teostada substraadile epitaksiaalset sadestumist. See sustseptor on SiC-ga kaetud grafiidisustseptor (tuntud ka kui kandik).

Thegrafiidi vastuvõtjaon oluline komponentMOCVD seadmed. See toimib aluspinna kandja ja kütteelemendina. Selle termiline stabiilsus, ühtlus ja muud jõudlusparameetrid on olulised tegurid, mis määravad epitaksiaalse materjali kasvu kvaliteedi ning mõjutavad otseselt õhukese kilematerjali ühtlust ja puhtust. Seetõttu on kvaliteetgrafiidi vastuvõtjaon epitaksiaalsete vahvlite valmistamisel ülioluline. Kuid sustseptori tarbitava iseloomu ja muutuvate töötingimuste tõttu läheb see kergesti kaduma.

Grafiidil on suurepärane soojusjuhtivus ja stabiilsus, mistõttu on see ideaalne aluskomponentMOCVD seadmed. Kuid puhas grafiit seisab silmitsi teatud väljakutsetega. Tootmise ajal võivad söövitavad jääkgaasid ja metallist orgaaniline aine põhjustada sustseptori korrodeerumist ja pulberdamist, vähendades seeläbi oluliselt selle kasutusiga. Lisaks võib allakukkuv grafiidipulber kiipi reostada. Seetõttu tuleb need probleemid lahendada baasi ettevalmistamise käigus.

Pindamistehnoloogia on protsess, mida saab kasutada pulbri pindadele kinnitamiseks, soojusjuhtivuse suurendamiseks ja soojuse ühtlaseks jaotamiseks. Sellest tehnoloogiast on saanud selle probleemi lahendamise peamine viis. Sõltuvalt kasutuskeskkonnast ja grafiitaluse kasutusnõuetest peavad pinnakattel olema järgmised omadused:

1. Suur tihedus ja täielik pakkimine: grafiidist alus on kõrge temperatuuriga, söövitavas töökeskkonnas ja pind peab olema täielikult kaetud. Hea kaitse tagamiseks peab kate olema ka hea tihedusega.

2. Hea pinnatasasus: kuna monokristallide kasvatamiseks kasutatav grafiitalus nõuab suurt pinnatasasust, tuleb pärast katte valmistamist säilitada aluse esialgne tasasus. See tähendab, et katte pind peab olema ühtlane.

3. Hea sidumistugevus: grafiidist aluse ja kattematerjali vahelise soojuspaisumisteguri erinevuse vähendamine võib tõhusalt parandada nende kahe vahelist sidumistugevust. Pärast kõrge ja madala temperatuuri termotsükleid ei ole katet lihtne lõhkuda.

4. Kõrge soojusjuhtivus: Kvaliteetne laastu kasv nõuab grafiitaluselt kiiret ja ühtlast soojust. Seetõttu peaks kattematerjalil olema kõrge soojusjuhtivus.

5. Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuritaluvus oksüdatsioonile ja korrosioonikindlus: kate peaks suutma stabiilselt töötada kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

Hetkel,Ränikarbiid (SiC)on grafiidi katmiseks eelistatud materjal tänu oma erakordsele jõudlusele kõrgel temperatuuril ja korrodeerivas gaasikeskkonnas. Lisaks võimaldab selle tihe soojuspaisumise koefitsient grafiidiga luua tugevaid sidemeid. LisaksTantaalkarbiidi (TaC) kateSamuti on see hea valik ja see võib seista kõrge temperatuuriga (> 2000 ℃) keskkondades.

Semicorex pakub kõrget kvaliteetiSiCjaTaC-kattega grafiidisusseptorid. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com