Kvartstooted pooljuhtide rakendustes

Pooljuhtide tööstuses kasutatakse kvartsi laialdaselt ja kõrge puhtusastmega kvartstooted on vahvlite tootmisel veelgi olulisemad tarbekaubad. Ränist monokristalltiiglite, kristallpaatide, difusioonahju südamikutorude ja muude kvartskomponentide tootmisel tuleb kasutada kõrge puhtusastmega kvartsklaasi tooteid. Pooljuhtide valdkonnas olevad kvartsosad, mis on vahvlivalu difusiooni- ja söövitusprotsesside peamised sihtturud, võib jagada kahte kategooriasse: kõrge temperatuuriga tsooniseadmed ja madala temperatuuriga tsooni seadmed. Peamised seadmed on järgmised:

1) Kõrge temperatuuriga tsooni seadmed on peamiselt difusioonoksüdatsiooni ja muud ahjutorude, klaasist paadiriiulite jms kasutamise aspektid, mis peavad olema kõrge temperatuuriga keskkonnas, otseselt või kaudselt kontaktis räniplaadiga; peamiselt termilise töötlemise teel toodetud elektriliselt sulatatud kvartsklaasist materjalide hankimine;

2) Madala temperatuuriga tsooni seadmed on peamiselt söövituslülid, näiteks kvartsrõngad, kuid hõlmavad ka puhastusprotsessi korve, puhastuspaake jne, mida kasutatakse peamiselt madala temperatuuriga keskkondades; ostis peamiselt gaasi rafineerimiseks kvartsklaasi külmtöötlemise kaudu

Nende hulgas tarbivad kõrge temperatuuriga tsooni seadmed kiiremini, kuid sarnaselt mitme kiibiga masinale (kandja rohkem kui ühe vahvli kandmiseks), madala temperatuuriga tsooni seadmed tarbivad aeglasemalt, kuid monoliitselt (kandur vahvli kandmiseks) ; seetõttu on need kaks turu suurust üksteisele suhteliselt lähedal.