Mis on konsoolsed labad?

Pooljuhtvahvlite töötlemisel kasutatakse vahvlite soojendamiseks spetsiaalseid ahjusid. Need ahjud sisaldavad piklikke silindrilisi torusid, kus vahvlid asetatakse vahvlipaatidele eelnevalt kindlaksmääratud ja võrdsel kaugusel. Tagamaks, et töötlemisseadmed ei raiskaks vahvleid ja taluksid töötlemistingimusi kambris, valmistatakse vahvlipaadid ja muud vahvlite töötlemisel kasutatavad seadmed sellistest materjalidest nagu ränikarbiid (SiC).

Vahvlipaadid, mis on laaditud töödeldavate vahvlite partiiga, on paigutatud pikkadele konsoolidega labadele. Neid labasid saab toruahjudesse ja reaktoritesse sisestada ja sealt välja tõmmata. Labad koosnevad lamestatud kandeosast, mis mahutab ühte või mitut paati, ja pikast käepidemest, mis asub lamestatud kandeosa ühes otsas, et hõlbustada käsitsemist.

Parimate komponentide saamiseks pooljuhtide töötlemisel on soovitatav kasutada rekristalliseeritud ränikarbiidist valmistatud konsoollaba CVD SiC õhukese kihiga. See materjal on kõrge puhtusastmega ja on selliste komponentide jaoks parim valik.

Semicorex valmistab kvaliteetse CVD SiC kattega kohandatud konsooli labasid. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com