Mannekeenivahvlite lühitutvustus

Täiustatud pooljuhtide tootmine koosneb mitmest protsessietapist, sealhulgas õhukese kile sadestamine, fotolitograafia, söövitamine, ioonide implanteerimine, keemiline mehaaniline poleerimine. Selle protsessi käigus võivad isegi väikesed vead selles protsessis avaldada kahjulikku mõju lõplike pooljuhtkiipide jõudlusele ja töökindlusele. Seetõttu on protsessi stabiilsuse ja järjepidevuse säilitamine ning tõhusa seadmete seire läbiviimine märkimisväärne väljakutse. Mannekeenid vahvlid on üliolulised tööriistad, mis aitavad nende väljakutsetega toime tulla.

Näidisvahvlid on vahvlid, millel ei ole tegelikku vooluringi ja mida ei kasutata lõplikus kiibi tootmisprotsessis. Needvahvlidvõivad olla uhiuued, madalama kvaliteediga testvahvlid või taaskasutatud vahvlid. Erinevalt integraallülituste tootmiseks kasutatavatest kallitest tooteplaatidest kasutatakse neid tavaliselt mitmesuguste tootmisega mitteseotud jaoks, mis on pooljuhtide tootmiseks hädavajalikud.

Näivvahvlite rakendused

1. Protsessi kvalifitseerimine ja häälestamine

Näidisvahvleid kasutatakse tavaliselt testimiseks enne neid olukordi, et tagada protsessi stabiilsus ja seadmete jõudluse vastavus, näiteks enne uute protsessiseadmete kasutuselevõttu, pärast olemasolevate seadmete hooldust või komponentide väljavahetamist ning uute protsessiretseptide väljatöötamise ajal. Seadmete toimivuse kontrollimise ja protsessiparameetrite täpse reguleerimise saab edukalt lõpule viia näidisvahvlite töötlemistulemuste analüüsimisega, mis vähendab tõhusalt tooteplaatide kadu ja vähendab ettevõtete tootmiskulusid.

2. Seadmete konditsioneerimine ja soojendamine

Paljude pooljuhtprotsessiseadmete (nt keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmed, füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) seadmed ja söövitusmasinad) kambrikeskkond mõjutab oluliselt töötlemistulemusi. Näiteks peavad kambri siseseinte katte olek ja temperatuurijaotus saavutama stabiilse oleku. Mannekeenvahvleid kasutatakse sageli protsessikambrite konditsioneerimiseks ja kambrite sisekeskkonna (nt temperatuur, keemiline atmosfäär ja pinnaseisund) stabiliseerimiseks, mis hoiab tõhusalt ära protsessi kõrvalekalded või defektid esimeses toote vahvlipartiis, mis on põhjustatud seadmete mittetöötamisest optimaalses olekus.

3. Osakeste seire ja saastekontroll

Pooljuhtide tootmisel on äärmiselt kõrged puhtusnõuded; isegi pisikeste osakeste saastumine võib põhjustada kiibi rikke. Seadmesse söödetud näivvahvlite pinnale kleepunud osakeste uurimise kaudu saab hinnata seadme puhtust. Seega saab tooteplaate edukalt saastumise eest kaitsta, tuvastades kiiresti võimalikud saasteallikad ja kehtestades puhastus- või hooldusprotseduurid.

4. Pilu täitmine partii ühtsuse tagamiseks

Gaasi voolu, temperatuuri jaotuse ja reaktiivi kontsentratsiooni saavutamiseks protsessikambris on täiskoormusel töötamine tavaline praktika partiitöötlusseadmetes, nagu difusioonahjud, oksüdatsiooniahjud või märgpuhastuspaagid. Vahvlipaadi tühjade pilude täitmiseks kasutatakse näitlevaid vahvleid, millel ei ole piisaval hulgal tooteplaate, mis võib vähendada servaefekti ja tagada ühtlased töötlemistingimused kõikidele tootevahvlitele, eriti neile, mis asuvad vahvlipaadi servades.

5. Keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) protsesside stabiliseerimine

Näidisvahvleid saab kasutada ka CMP protsessi eeltöötlusetapis, et säilitada protsessi stabiilsus. Eelkatsetamine näivvahvlitega optimeerib poleerimispadja karedust ja poorsust, minimeerib protsessi ebakindlust käivitamise stabiliseerimisfaasis või üleminekufaasis enne seiskamist ning vähendab tahvlite kriimustusi ja defekte, mis on põhjustatud ebanormaalsest läga etteandest ja pea membraani kulumisest.

Semicorex pakub kulutõhusatSiC näivvahvlid. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com