Poorne alumiiniumoksiidi vaakumpadrun

Vaakumpadrun on ühendustoru kaudu ühendatud vaakumseadmega. Kui vaakumpadrun puutub kokku töödeldava detailiga, näiteks vahvli/õhukese kilematerjaliga, hakkab vaakumseade tööle, tekitades vaakumpadruni sees alarõhu. Atmosfäärirõhu all kinnitub toorik kindlalt vaakupadruni külge, võimaldades töödelda. Pärast töötlemise lõpetamist lakkab vaakumseade töötamast ja täidab vaakumpadruni aeglaselt gaasiga, eraldades tooriku automaatselt padrunist. See lõpetab töödeldava detaili kinnitamise, töötlemise ja käsitsemise.

Pooljuhtfotolitograafia põhieesmärk on "trükkida" miljardeid transistorahela mustreid nanomeetri täpsusega vahvlile. "Fotolitograafia" olemus on valgusallika kasutamine väga valgustundliku fotoresisti kiiritamiseks, põhjustades keemilise reaktsiooni, mis söövib vooluringi. Kui aga valgusallikas vahvlit kiiritab, paistab see paratamatult ka elektrostaatilisele padrunile, mis toimib vahvlikandjana. Tekkiv peegeldunud sekundaarne valgus võib häirida fotolitograafia protsessi, põhjustades kokkupuudet soovimatutes piirkondades ja kahjustades vooluringe. Seetõttu minimeerib vaakumpadruni must pind peegeldust, tagades fotolitograafiasüsteemi täpsusnõuded. Selle võimaluse põhjal saab musta alumiiniumoksiidi laialdaselt kasutada mitte ainult elektrostaatilistes padrunites, vaid ka "valgust summutavates" stsenaariumides. Tehisintellekti ajastu tulek on võimaldanud märkimisväärselt areneda optilise side rakendustes ning musta alumiiniumoksiidi substraate on sageli näha optoelektrooniliste seadmete ja valgust kiirgavate elementide pakendites.

Must alumiiniumoksiidi keraamikaon valmistatud peamiselt Al2O3-st, millele on lisatud värvainetena siirdemetallide oksiide ja paagutamise abiaineid, paagutatakse kindlal temperatuuril. Värvaine on seda tüüpi keraamika ülioluline komponent, mis määrab selle lõpliku värvi. Vaakumpadrunite värvainete valimisel on oluline tagada vaakumpadruni värvus, mehaaniline tugevus, poorsus ja pooride suurus.

Praegu on nii kodu- kui ka rahvusvaheliselt värvainetena levinud siirdemetallioksiidid Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 ja MnO2, kusjuures kõige levinumad on Fe2O3, CoO, NiO ja MnO2. Kuna alumiiniumoksiid on kõrgetel temperatuuridel vähem lenduv, samas kui siirdemetallide oksiidid on vastupidised, suureneb nende lenduvus temperatuuri tõustes. Need oksiidid moodustavad kõrgtemperatuursel paagutamisel spinell-tüüpi ühendeid, mis vähendab nende lenduvust. Seetõttu tuleks siirdemetallioksiidide lendumise mahasurumiseks valida sobivad protsessitingimused, mis võimaldavad neil madalamatel temperatuuridel spinell-tüüpi ühenditeks ühineda.

Semicorex pakub tollipoorne keraamiline vaakumpadrun. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com