Mis on klaasvahvlid?

Pooljuhtide ja optiliste tehnoloogiate arengugaklaasist vahvlidUut tüüpi klaastootena on järk-järgult saamas räniplaatide täiendus, mis näitab suurt potentsiaali kõrgtehnoloogia valdkonnas. Mis on klaasist vahvlid? Klaasvahvlid on suure jõudlusega ümmargused õhukesed viilud, mis on tavaliselt valmistatud kvartsklaasist, leelisevabast klaasist või klaas-räni komposiitidest. Suurepäraste füüsikaliste ja keemiliste omadustega mängivad nad asendamatut rolli tipptasemel tootmisvaldkondades, nagu pooljuhtide tootmine, optika, MEMS, olmeelektroonika, biomeditsiin ja laboriuuringud.

Klaasvahvlite peamised materjalid

1.Kaug-ultraviolett kvartsklaas

Kaug-ultraviolettkvartsKlaasi toodetakse keemilise aurustamise-sadestamise protsessiga, kus gaasiline ränitetrakloriid läbib gaasifaasilise reaktsiooni hapnikuvesiniku leegis, et tekitada amorfne ränidioksiid, mis seejärel sadestatakse kvartssubstraadile järkjärguliseks kasvamiseks ja moodustumiseks. See materjal sisaldab suures koguses hüdroksüülrühmi (950–1400 ppm), kusjuures väike kogus metallilisi lisandeid on alla 0,2 ppm. Tänu oma suurepärastele omadustele, nagu kiirgusvastased omadused, optiline ühtlus ja kõrge ultraviolettkiirguse läbilaskvus (eriti kaug-ultraviolettkiirguse piirkonnas), kasutatakse ultraviolettkvartsklaasi laialdaselt ultraviolettkiirguse optika valdkonnas.

Kaug-ultravioletse kvartsklaasi laiaulatuslikku kasutamist piiravad aga teatud määral sellised tegurid nagu triibulised defektid, mida on lihtne valmistada ettevalmistusprotsessis, suurte ja keeruka kujuga toodete vormimise keerukus ning suhteliselt kõrge tootmiskulu.

2. Ultraviolett optiline kvartsklaas:

Ultraviolett-optiline kvartsklaas valmistatakse leegi sulatamise protsessi abil looduslike kristallide sulatamisel vesinikvesiniku leegiga, millele järgneb sulatatud ränidioksiidi klaasist sihtmärkide pinnale sadestamine. Ultraviolett optiline kvartsklaas hüdroksüülisisaldusega 150–400 ppm pakub erakordseid eeliseid, nagu kõrge ultraviolettkiirguse läbilaskvus, tugev keemiline stabiilsus, hästi termiline stabiilsus ja kõrge mehaaniline tugevus. Tänu oma küpsele tootmisprotsessile ja kõrgele kulutõhususele kasutatakse ultraviolett-optilist kvartsklaasi laialdaselt elektroonika- ja pooljuhtidetööstuses.

Kuid ultraviolettkiirgusega optilise kvartsklaasi optiline ühtlus on halb ja see võib sisaldada mikroskoopilisi defekte, nagu triibud ja mikromullid, mis võivad mõjutada optilise kujutise kvaliteeti ja laserülekande stabiilsust.

3. Infrapuna optiline kvartsklaas:

Infrapuna-optilist kvartsklaasi toodetakse kristallpulbri sulatamisel, kasutades vaakumelektrofusiooniprotsessi. Sellel materjalil on madal hüdroksüülisisaldus (<5 ppm), mille tulemuseks on parem infrapunaläbilaskvus. Tänu suurepärasele infrapunaläbilaskvusele, hästi keemilistele omadustele ning kõrgele mehaanilisele tugevusele ja küpsele tootmistehnoloogiale kasutatakse infrapuna-optilist kvartsklaasi infrapunaoptika rakendustes laialdaselt.

Infrapuna-optiline kvartsklaas sisaldab aga palju metallilisi lisandeid ja annab suhteliselt madala laserkahjustuse läve, mistõttu see ei sobi suure energiatihedusega laserrakenduste ja stsenaariumide jaoks, mis nõuavad ülikõrget ultraviolettkiirguse läbilaskvust.