Mis on fookusrõngaste funktsioon?

Fookusrõngad on olulised komponendid pooljuhtide söövitusprotsesside ühtluse ja stabiilsuse tagamiseks. Tänu elektri- ja soojusväljade täpsele juhtimisele suudavad fookusrõngad kontsentreerida plasma vahvli pinnale, tagades ühtlase söövituse plaadi kõigis kohtades.

Fookusrõngaste funktsioonid

1. Parandage söövituse ühtlust

Söövitusprotsessis võivad fookusrõngad koondada plasmavahvelpind, mis tagab tõhusalt ühtlase plasmatiheduse, ioonide pommitamise nurga ja energiataseme nii vahvli serva kui ka keskosas. Need korrigeerivad elektrivälja jaotust vahvli serval, vähendades söövituskiirust, kriitilisi mõõtmeid ja servaefektidest põhjustatud morfoloogia variatsioone, tagades seega söövituse järjepidevuse kogu vahvli pinnal. Kui teravustamisrõngas on liigselt kulunud või fookusrõngas puudub, difundeerub plasma plaadi servast, põhjustades lõpuks mittevastavaid kõrvalekaldeid joone laiuses serva ja keskosa vahel.

2. Kaitske elektrostaatilist padrunit

Fookusrõngad paigaldatakse tavaliselt elektrostaatiliste padrunite vahvlikanduri pinnast väljapoole, mis puutub kokku plasmapommitamise ja korrosiooniga. See osamakse seadistamine toimib füüsilise barjäärina, mis takistab plasma kokkupuudet elektrostaatiliste padrunidega söövitusprotsessi ajal, vähendades seeläbi oluliselt plasma kahjustamise ohtu. Fookusrõngad võivad samuti takistada söövitusprotsessi käigus tekkivate kõrvalsaaduste kleepumist elektrostaatiliste padrunite külge, vältides seega padrunite saastumise ja ummistumise põhjustatud jõudluse halvenemist. See pikendab oluliselt elektrostaatiliste padrunite hooldustsüklit ja eluiga, vähendades seadmete hooldus- ja asenduskulusid.

Fookusrõngad on tavaliselt valmistatud kõrge puhtusastmegakvarts, ränijaränikarbiidmaterjalid. Tänu suurepärasele terviklikule jõudlusele muutuvad ränikarbiidmaterjalid järk-järgult tipptasemel söövitusprotsesside peamiseks valikuks. Usaldusväärse pooljuhtide fookusrõnga tarnijana Hiinas pakub Semicorex kõrget kvaliteetiränikarbiidist teravustamisrõngaderineva suurusega, et need vastaksid söövitusseadmete erinevatele nõuetele. Semicorex tervitab teie päringuid ja oste igal ajal.