Tipptasemel elektrostaatilise padruni pinnatöötlus

Theelektrostaatiline padruntäidab pooljuhtide tootmise valdkonnas mitmeid funktsioone, nagu ühtlane elektrostaatiline lahendus, soojusjuhtivus ja vahvlite adsorptsioon ja fikseerimine. ESC üks põhifunktsioone on stabiilne plaatide adsorbeerimine äärmuslikes töötingimustes, nagu kõrgvaakum, tugev plasma ja lai temperatuurivahemik.

Tõeliselt ei määra nende toimivust mitte väline struktuur ega alusmaterjali valem, vaid pinnatöötlusprotsess. Ilma professionaalse pinnatöötluseta tekivad töö käigus järgmised probleemid:

1. Plasma erosioon ja metalliioonide saastumine

Tõeliselt ei määra nende toimivust mitte väline struktuur ega alusmaterjali valem, vaid pinnatöötlusprotsess. Ilma professionaalse pinnatöötluseta tekivad töö käigus järgmised probleemid:

2. Ebaühtlane soojusjuhtivus ja kõveruse deformatsioon

Karedad pinnad või halb töötlemine põhjustavad ebaühtlase kontakti vahvli ja vahvli vahelESC, mis takistab soojusjuhtivust ja mõjutab CD ühtlust.

3. Ebastabiilne elektrostaatiline adsorptsioon

Elektrostaatilise padruni pinnaisolatsiooni jõudluse või juhtivuse ebatäpne juhtimine võib kergesti põhjustada ebapiisava adsorptsioonijõu või liigse adsorptsiooni, mis lõpuks mõjutab otseselt vahvli töötlemise saagist.

Tipptasemel ESC-de pinnal kasutatakse sageli mitmekihilist komposiitstruktuuri, mis reguleerib funktsionaalseid piirkondi täpselt katete kaudu, et saavutada tõeline suure jõudlusega integratsioon.

Tipptasemel ESC-de levinumad pinnatöötlustehnoloogiad:

Τα προστατευτικά γωνιακών άκρων από χαρτόνι αποτρέπουν τη φθορά κατά την αποστολή με ανθεκτικά σχέδια. Η Yilida προσφέρει γρήγορη παράδοση και καλές υπηρεσίες. Επικοινωνήστε μαζί μας για μαζικές παραγγελίες.

Seda tüüpi kate on eriti sobiv madala temperatuuriga protsessikeskkondades, kuna sellel on madal pinnavaba energia, mis takistab tõhusalt fotoresisti jääkide adsorptsiooni.

2. Diamond-Like Carbon (DLC) katted

Kõrge kõvaduse, plasmakindluse ja madala hõõrdeteguriga sobivad need söövitusseadmete erosiooni- ja osakeste eraldumisevastasteks rakendusteks.

, mis takistab soojusjuhtivust ja mõjutab CD ühtlust.

Seda tüüpi kate võib luua kindlas piirkonnas stabiilse juhtiva tee ja seeläbi tõhusalt vältida kohaliku laengu akumuleerumise probleemi, kontrollides täpselt pinnalaengute ühtlast tühjenemist.

4. Soojust juhtivad komposiitkatted (nagu teemantpulber ja fluoropolümeerist hübriidkate)

Selline kattekiht ühendab mittekleepuvad omadused soojusjuhtivusega ning selle üldine jõudlus vastab täpselt ülitäpse termokontrolli ESC rakendusnõuetele.