Mis on rõngad söövitamisel

Kiibi valmistamisel on fotolitograafia ja söövitamine kaks omavahel tihedalt seotud etappi. Söövitamisele eelneb fotolitograafia, kus vooluresisti abil arendatakse vahvlile vooluringi muster. Seejärel eemaldab söövitus kilekihid, mida fotoresist ei kata, viies lõpule mustri ülekandmise maskilt vahvlile ja valmistudes järgmisteks etappideks, nagu ioonide implanteerimine.

Söövitamine hõlmab mittevajaliku materjali valikulist eemaldamist keemiliste või füüsikaliste meetodite abil. Pärast katmist, resist katmist, fotolitograafiat ja arendust eemaldab söövitus vahvli pinnale eksponeeritud mittevajaliku õhukese kilematerjali, jättes alles vaid soovitud alad. Seejärel eemaldatakse üleliigne fotoresist. Nende sammude korduv kordamine loob keerukaid integraallülitusi. Kuna söövitamine hõlmab materjali eemaldamist, nimetatakse seda "lahutamisprotsessiks".

Söövitusrõngad vastavalt klientide vajadustele. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Söövitamise protsessis kasutame peamiselt kahte tüüpi rõngaid: teravustamisrõngaid ja varjestusrõngaid.

Fookusrõngas

Plasma servaefekti tõttu on tihedus keskel suurem ja servades väiksem. Fookusrõngas oma rõngakujulise kuju ja CVD SiC materjaliomaduste kaudu tekitab spetsiifilise elektrivälja. See väli juhib ja piirab plasmas olevad laetud osakesed (ioonid ja elektronid) vahvli pinnale, eriti selle servale. See tõstab tõhusalt plasma tihedust servas, tuues selle lähemale keskele. See parandab oluliselt vahvli söövitamise ühtlust, vähendab servade kahjustusi ja suurendab saagikust.

Kilbi rõngas

Tavaliselt asub see väljaspool elektroodi ja selle peamine ülesanne on blokeerida plasma ülevoolu. Sõltuvalt struktuurist võib see toimida ka elektroodi osana. Levinud materjalide hulka kuuluvad CVD SiC või ühekristalliline räni.

Semicorex pakub kõrget kvaliteetiCVD SiCjaRäniSöövitusrõngad vastavalt klientide vajadustele. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com