Miks valida SiC-kattega grafiidisusseptorid?

Grafiidi sustseptoron MOCVD-seadmete üks olulisi osi, on vahvli substraadi kandja ja soojendaja. Selle termilise stabiilsuse ja termilise ühtluse omadused mängivad otsustavat rolli vahvli epitaksiaalse kasvu kvaliteedis, mis määrab otseselt kihtmaterjalide ühtluse ja puhtuse, mistõttu selle kvaliteet mõjutab otseselt epitaksia valmistamist. Vahepeal on kasutuste arvu suurenemise ja töötingimuste muutumise tõttu väga lihtne kaotada ja see kuulub kulumaterjalide hulka. Grafiidi suurepärane soojusjuhtivus ja stabiilsus muudavad selle heaks eeliseksMOCVD seadmete baaskomponent. Kui aga kasutatakse ainult puhast grafiiti, tekib sellega probleeme. Tootmisprotsessis on söövitavaid gaase ja metalli orgaanilisi jääke ning grafiidipõhi korrodeerub ja pudeneb pulber maha, mis vähendab oluliselt seadme kasutusiga.grafiidi sustseptor, ja mahakukkunud grafiidipulber tekitab reostust ka kiibile, nii et aluse ettevalmistusprotsessis ka Need probleemid tuleb lahendada aluse ettevalmistamise käigus. Kattetehnoloogia võib tagada pinnapulbri fikseerimise, suurendada soojusjuhtivust ja võrdsustada soojusjaotust, millest saab selle probleemi lahendamise peamine tehnoloogia. Peamine tehnoloogia on selle probleemi lahendamine. Vastavalt rakenduskeskkonnale ja nõuetelegrafiidisusseptorid, peaks pinnakattel olema järgmised omadused.

Suured tihedused ja täielik mähis: grafiidist alus tervikuna on kõrge temperatuuriga, söövitavas töökeskkonnas, pind peab olema täielikult mähitud, samas kui kattekihil peab olema hea kaitsefunktsioon.

Hea pinnatasasus: Kuna monokristallide kasvatamiseks kasutatav grafiitalus nõuab väga suurt pinnatasasust, tuleb pärast katte valmistamist säilitada aluse esialgne tasasus, st katte pind peab olema ühtlane.

Hea sidumistugevus: grafiitaluse ja kattematerjali vahelise soojuspaisumisteguri erinevuse vähendamine võib nendevahelist sidetugevust tõhusalt parandada ning katet ei ole pärast kõrge ja madala temperatuuriga termilisi tsükleid lihtne puruneda.

Kõrge soojusjuhtivus: Kvaliteetne laastu kasv nõuab grafiitpõhjalt kiiret ja ühtlast soojust, seega peaks kattematerjalil olema kõrge soojusjuhtivus.

Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuriga oksüdatsiooni- ja korrosioonikindlus: kate peaks suutma stabiilselt töötada kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.