Juhtivad kaetud grafiidiküttekehad

Sellejuhtiv kaetud grafiidi kütteseadeon uus toode, mis on loodud kõrge temperatuuriga pooljuhtide töötlemiseks ja muudeks vaakumtoeliste süsteemideks. See kasutab kõrge puhtusega grafiidi head termilist stabiilsust ja räni karbiidi (SIC) katte suurepäraseid pinnaomadusi. Juhtivat kaetud grafiidiküttekeha eristab veelgi lämmastikoksiga SIC-kihti, mis pakub oluliselt paremat pinnajuhtivust, muutes selle eriti hästi sobivaks rakenduste jaoks, mis vajavad kontrollitud ja isegi suure elektrilise jõudlusega kuumutamist.

Küttekeha on konstrueeritud ülitugeva grafiidi substraadiga, mis toimib tuuma struktuuri- ja soojusjuhtina. Grafiit valiti, eriti selle kõrge soojusjuhtivuse, madala soojuspaisumise koefitsiendi ja termilise šoki suhtes vastupidavuse. Need omadused muudavad grafiidi sobiva alusmaterjali kõrgete temperatuuride rakendustes, kus võib esineda kiiret kuumutamis- ja jahutustsüklit. Põline grafiit ise on aga teatud atmosfäärides keemiliselt reageeriv ja võib laiendatud kasutamise ajal kogeda pinnakahjustusi või lagunemist, osakeste emissiooni või ülekandmist, eriti pooljuhtide puhastatud keskkonnas.

Nende piirangute ületamiseks kaetakse grafiidiosa paksu, kõrge puhtusastmega SIC-kihiga. SIC -kate täidab mitmeid funktsioone: see tagab kaitse taset oksüdeerumise ja keemilise korrosiooni eest, see tagab väga kõva, kulumiskindla pinna ning tagab ühilduvuse vaakumi- ja puhtaruumi standarditega. SIC -l on maine äärmise kõvaduse, kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise inertsuse järele; Sel põhjusel on see suurepärane kattematerjal suure jõudlusega termiliste komponentide jaoks.

Selle toote ainulaadne uuendus on SIC -katte lämmastiku doping. Keemilise aurude sadestamise (CVD) protsessi käigus põimitakse lämmastikuaatomid SIC -võresse, tekitades vabasid kandjaid, mis võivad dramaatiliselt vähendada selle pinnatakistust ja luua seetõttu juhtiv pinnakiht ja võimaldada voolu otse läbi pääseda, selle asemel, et kasutada pääsupunkti, võimaldades SIC -katte kaudu, lubades kogu resistentse kuumuse elemendina toimida.

KlassikalineSic kattedon isolatiivsed, mis piirab neid tõesti aktiivsete elektriliste rakenduste ulatuses. Seevastu lämmastiku legeeritud SIC-kihil on küttekehal äärmiselt madal pinnatakistus, säilitades siiski klassikalise sici mehaanilised ja keemilised eelised. Juhtiv kiht tagab väga hea voolu ühtluse ja minimeerib võimsuse kadu, parandades samal ajal soojusjaotust küttekeha pinnal. See sobib eriti ideaalselt täpse kuumutamise rakenduste jaoks tingimustes, mis on sageli seotud epitaksiaalsete reaktorite, difusiooniahjude ja kiire termilise töötlemise (RTP) seadmetega.

Küttekeha geomeetria, tavaliselt spiraal või serpentiin, nagu pildil näidatud, on konstrueeritud ja optimeeritud eesmärgiga toota ühtlast soojust väljundit ja ühtlast elektrilist koormust. Grafiidi ja juhtiva SIC -katte integreeritud kujundusega saab elektrilisi kontakte teha otse kaetud pinnale, mis välistab vajaduse täiendavate elektroodide või metalliühenduse järele. See vähendab saastumisriske ja annab tulemuseks lihtsama kokkupanemise. Järelikult paraneb üldine tõhusus.

Juhtkonna peamised eelisedSIC-kattega grafiidi kütteseadehõlmama:

Suurepärane elektrijuhtivus lämmastiku dopingust, võimaldades alalisvoolu voolu ja tõhusat takistust.

Suurem termiline ühtlus, kui täpne temperatuurikontroll kogu pindala üle.

Kõrge keemiline resistentsus, eriti söövitavates keskkondades nagu vesinik, ammoniaak või halogeenikas atmosfäärid.

Minimaalne osakeste genereerimine, vastates pooljuhtide valmistamise rangetele puhtusajastutele.

Pikendatud kasutusaega, nii grafiidi südamiku kui ka sic -katte mehaanilise vastupidavuse ja termilise šokitakistuse tõttu.

Selle küttekeha rakendused ulatuvad paljude arenenud tehnoloogiatööstusega. Küttekeha leiab koha pooljuhtide tootmisprotsessides nagu keemiline aurude sadestumine (CVD), molekulaarkiire epitaksia (MBE) ja vahvli lõõmutamine, kus materjalide täpne temperatuurikontroll ja puhtus on kriitilised. SIC-kattega grafiidisoojendit saab kasutada ka fotogalvaanilise tootmise, täiustatud keraamika paagutamise ja muudes termilistes protsessides, kus on vaja suuremat jõudlust, vastupidavust ja vastupidavaid küttekehasid.

Kokkuvõtlikult võib öelda, et juhtiv SIC-kattega grafiidiküttekeha on muljetavaldav edasiminek termiliste komponentide väljatöötamisel. Lämmastiku legeeritud SIC-kattekihi abil oleme välja töötanud efektiivse termilise toote, mis ühendab edukalt SIC-katte keemilise stabiilsuse elektrijuhtivusega. Seega on tõhusam, puhtama ja usaldusväärsem soojusprotsessi koostamine kõige nõudlikumate tööstuslike rakenduste jaoks. Pooljuhtide ja materjalide tööstus seisab silmitsi jätkuvate muutustega ja sedalaadi hübriidmaterjalid muutuvad üha olulisemaks, võimaldades tulevasi tootmise arenenud tehnoloogiaid.

Semicorex pakub kvaliteetsetkattega grafiitküttekehadtooted. Kui teil on päringuid või kui vajate lisateavet, ärge kartke meiega ühendust võtta.

Kontakti telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com