Sisemine juhttoru

Semicorexi sisemine juhttoru on täpselt konstrueeritudsüsinik/süsinik (C/C) komponentmõeldud täiustatud kõrgtemperatuuriliste termiliste väljade rakenduste jaoks, eriti kõrge puhtusastmega ränikristallide kasvatamisel. Kristallide kasvatamise ahjude kriitilise elemendina mängib see komponent keskset rolli termilise gradiendi kujundamisel ja stabiliseerimisel, tagades optimaalse kristallide moodustumise ja ühtlase materjalikvaliteedi.

Suure tihedusega süsinikkiuga tugevdatud süsinikkomposiidist valmistatud sisemine juhttoru pakub erakordset struktuurilist terviklikkust ja termilist stabiilsust äärmuslikes tingimustes. Tihedusega ≥1,35 g/cm³ ja paindetugevusega ≥110 MPa säilitab see mehaanilise vastupidavuse isegi pikaajalisel kõrgendatud temperatuuriga kokkupuutel. Need omadused on olulised pooljuhtkvaliteediga räni tootmisel, kus isegi väikesed kõikumised termilistes tingimustes võivad oluliselt mõjutada kristallide ühtlust ja defektide määra.

Põhifunktsioonid: täpne gradiendi juhtimine

C/C sisemise juhttoru peamine ülesanne on luua täpne gradiendi temperatuuriväli. Ränikristallide kasvuprotsessi ajal asetatakse see otse sulatise kohale, et:

Otsene gaasivool: see juhib inertse argoongaasi voolu, tagades ränioksiidi (SiO) aurude tõhusa eemaldamise sulamispinnalt, vältides hapniku saastumist kristallides.

Termiline varjestus: see kaitseb kasvavat kristalli tiigli seinte otsese soojuskiirguse eest, luues järsu aksiaalse temperatuurigradiendi, mis on vajalik kiireks ja kvaliteetseks kristallide tõmbamiseks.

Energiatõhusus: koondades soojuse sulamistsooni ja isoleerides ahju ülemised osad, vähendab see oluliselt kogu energiatarbimist.

Tehnilised andmed ja materjali kvaliteet

Meie sisemised juhttorud on valmistatud suure tihedusegaSüsinik/süsinikkomposiidid, pakkudes suurepärase alternatiivi traditsioonilisele grafiidile. Materjali omadused on optimeeritud pooljuhtvaakumpahjude ekstreemsete tingimuste jaoks:

Tihedus: ≥ 1,35 g/cm³

Paindetugevus: ≥ 110 MPa

Soojuspaisumise koefitsient (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Soojusjuhtivus (toatemperatuur): ≤ 10 W/(m·K)

Tööstus

Kuna tööstus liigub suuremate vahvlisuuruste (300 mm ja 450 mm) poole, kasvavad nõudmised soojusväljale plahvatuslikult. Meie sisemised juhttorud ühilduvad suuremate CZ ahjude kaubamärkidega ning neid saab kohandada nii geomeetria kui ka katte poolest.