Grafiitküttekeha kuuma tsooni jaoks

Homogeenne temperatuurijaotus:Graphite Heater For Hot Zone on tuntud oma ühtsete kuumutusomaduste poolest, mis saavutatakse hoolika materjalitöötluse ja täppistöötluse kombinatsiooniga. See homogeensus tagab ühtlase temperatuuriprofiili kogu küttepinna ulatuses, minimeerides termilisi gradiente, mis võivad põhjustada vahvlite ebaühtlast töötlemist, väiksemat saagist ja ebaühtlast seadme jõudlust.

Erakordne korrosioonikindlus:Graphite Heater For Hot Zone demonstreerib märkimisväärset vastupidavust erinevatele söövitavatele gaasidele ja kemikaalidele, mida tavaliselt kohtab kõrge temperatuuriga pooljuhtide töötlemisel. See loomupärane inertsus tagab küttekeha pikaajalise stabiilsuse ja jõudluse, minimeerides saastumise riski ja pikendades tööiga.

Suurepärane oksüdatsioonikindlus:Erinevalt tavapärasest grafiidist on kuumatsooni jaoks mõeldud Graphite Heater suurepärane vastupidavus oksüdatsioonile isegi kõrgetel temperatuuridel. See omadus on ülioluline küttekeha terviklikkuse säilitamiseks ja tahkete osakeste saastumise vältimiseks töötlemiskambris.

Ülikõrge keemilise puhtusega:Graphite Heater For Hot Zone on töödeldud ülikõrge puhtuse saavutamiseks, minimeerides soovimatute saasteainete sattumise pooljuhtide töötlemiskeskkonda. See erakordne puhtus on oluline õrnade pooljuhtmaterjalide terviklikkuse säilitamiseks ja valmistatud seadmete soovitud elektriliste ja optiliste omaduste tagamiseks.

Kõrge mehaaniline tugevus ja stabiilsus:Graphite Heater For Hot Zone omab suurepärase mehaanilise tugevuse ja mõõtmete stabiilsuse kõrgetel temperatuuridel, mis võimaldab valmistada tugevaid küttekeha komponente, mis on võimelised taluma kõrgel temperatuuril töötamise raskusi, sealhulgas termilist tsüklit ja mehaanilist pinget.