Grafiitelektrood

Semicorexi grafiitelektrood on kõrge puhtusastmega, täpselt valmistatud grafiidist komponent, mida kasutatakse pooljuhtide soojusrakendustes, kus elektrijuhtivus, termiline stabiilsus ja mõõtmete täpsus on ülimalt olulised. Tegelikult kasutatakse seda tüüpi elektroode kõrge temperatuuriga ahjudes, epitaksireaktorites ja termilise töötlemise kambrites, mis hõlbustavad stabiilset voolujuhtivust, soojusülekannet ja stabiilsust agressiivsetes temperatuuri- ja atmosfääritingimustes. Tänu Semicorexi grafiitelektroodide äärmisele puhtusele, tahke struktuuri ühtlusele ja kõrgetele mehaanilistele omadustele suudavad need nõudlikes pooljuhtrakendustes kütteelementidena tagada usaldusväärse soojustõhususe.

Grafiitelektroodid on valmistatud kvaliteetsest peeneteralisest grafiitmaterjalist, millest igaüks on valmistatud täiustatud ekstrusiooni, kõrgtemperatuurse karboniseerimise ja grafitimise jada abil. Grafiidi mikrostruktuur on loodud ligikaudu konstantse elektritakistuse, kõrge soojusjuhtivuse ja mehaanilise stabiilsuse jaoks. Lõpptoode on kõrge puhtusastmega soojusjuht, mis säilitab füüsilise seisundi ja ühtlase voolujaotuse nii suure võimsusega keskkondades kui ka kiiretes temperatuurikõikumistes.

Ultra Performance meiegrafiit

Meie grafiit tagab suurepärase jõudluse ühtsuse. Esiteks on meie ahjudel karboniseerimisprotsessi käigus vaid 115 kuupmeetrit. Meie tehniline meeskond jälgib grafiittoodete temperatuurivälja iga ahju erinevates piirkondades. Algsel madalal temperatuuril (0-200 °C) reguleerime temperatuuri ±10 °C piires ja kõrgetel temperatuuridel (üle 600 °C) ±1 °C piires. Me ei jälgi mitte ainult erinevate grafiidiosakeste vahelist temperatuurivälja, vaid ka iga üksiku grafiiditüki pinna- ja sisetemperatuuri, kontrollides seda ±3°C piires. Jälgime igas karboniseerimisahjus 8 temperatuuripunkti.

Teiseks jälgime grafitiseerimise käigus, võttes näiteks 500 kg partii, ka 8 temperatuuripunkti. Pärast grafitiseerimist võtame juhuslikult proovid ja testime 24 punkti piki X-, Y- ja Z-telge, et tagada ühtlus. Enamik tööstuse ettevõtteid testib ainult X-telge või kõige rohkem XY-telge, tüüpilised tootjad testivad ainult 6-8 punkti ja paremad testivad 12 punkti. Testime 24 punkti.

Pooljuhtide termilises väljas on grafiitelektrood küttesõlme kriitiline osa, mis suunab elektrivoolu kuumutustsooni ja võimaldab temperatuuri kontrollitud jaotamist konkreetse protsessi vahel, nagu oksüdatsioon, difusioon, LPCVD või epitaksia. Grafiitelektroodil peab olema töökindel roll temperatuuril üle 2000°C ja see peab olema vastupidav oksüdeerumisele, väänamisele või kuumutuskoha saastamisele.

Semicorexi grafiitelektroodidel on silmapaistev elektrijuhtivus, mis hõlbustab tõhusat energiavarustust minimaalsete kadudega, ja neil on suurepärane soojusjuhtivus, mis võimaldab ahjus kiiret ühtlast soojusülekannet. Madala soojuspaisumise ja suure mehaanilise tugevuse kombinatsioon vähendab deformatsiooni ja pragunemist termilise tsükli ajal, tagades stabiilse käitumise pika kasutusea jooksul. Iga elektrood on töödeldud rangete mõõtmete tolerantside ja peene pinnaviimistlusega, et tagada pidev kontakt ja tühine elektritakistus kontaktpinnal.

Pooljuhtprotsesside spetsiifilisi nõudeid silmas pidades saab Semicorex välja töötada kohandatud elektroodide konstruktsioonid, mis sobivad iga ahju konfiguratsiooni ja võimsuse spetsifikatsiooniga. Saadaval on erinevad läbimõõdud, pikkused, ühenduste tüübid või pinnaviimistlused. Vajadusel võib oksüdatsioonikindluse ja tööea toetamiseks kasutada kattematerjale, nagu SiC või pürolüütiline süsinik, kõrge hapnikusisaldusega või reaktiivse gaasi keskkonnas.

Kõrge puhtusastmegagrafiitmaterjaltagab metalliliste lisandite (ja gaasiliste lisandite) uskumatult madala taseme, sageli üle 99,999% süsinikusisaldusega. Selline väike lisandite tase aitab vältida pooljuhtplaatide saastumist termilise töötlemise ajal. Semicorexi grafiitelektroodid koos märkimisväärse töötlussügavuse ja poleeritud pinnaviimistlusega vastavad tipptasemel vahvlite valmistamise tehnoloogiate mehaanilisele ja keemilisele stabiilsusele.

Olenemata sellest, kas seda kasutatakse difusioonahjudes, epitaksiaalreaktorites või kõrgtemperatuurilistes töötlemisseadmetes, pakub Semicorexi grafiitelektrood ületamatut jõudlust kõige nõudlikumates termilistes keskkondades. Kombineerides kõrge puhtuse, täpse geomeetria ja täiustatud materjalitöötluse, pakub Semicorex elektroodilahendust, mis tagab stabiilse voolujuhtivuse, ühtlase kuumutamise ja pikaajalise töökindluse, mis on olulised järgmise põlvkonna pooljuhtide tootmiseks.