Grafiitide tiiglid

Semicorexi grafiidi tiigikud on pooljuhtide tootmisprotsessis kriitilised komponendid, eriti kristallide kasvu etapis. Need suure jõudlusega konteinerid on konstrueeritud selleks, et taluda ekstreemseid tingimusi, mis on vajalikud kõrge puhtusarja räni või ühendi pooljuhtide kristallide tootmiseks selliste meetodite abil nagu Czochralski (CZ) protsess või ujukitsooni (FZ) tehnika.

Grafiidi tiigikute peamine funktsioon on taluda ja toetada äärmiselt kõrgeid temperatuure, tavaliselt üle 2000 ° C, kus sageli sünteesitakse sageli kolmanda põlvkonna pooljuhtide materjalid, näiteks räni karbiid ja galliumnitriid. Kõrgpuhustusega grafiidist valmistatud tiiglibil on suurepärane resistentsus kõrgetele temperatuuridele, säilitades nende füüsikalised ja keemilised olekud sellisel ekstreemsel tasemel ilma igasuguse lagunemise või isegi metamorfoosita. Hea grafiidihaiguste poolt soojusjuhtivus tähendab, et nad ei korralda mitte ainult ühtlaselt soojust, vaid seavad ka stabiilse temperatuurivälja. See on ülioluline sulamis- ja kristallimisprotsesside ajal, kuna ühtlane temperatuurijaotus võimaldab kasvumaterjali enam -vähem samaväärsetes tingimustes, vähendades sellega kristallidefekte ja võimaldades kvaliteetseid pooljuhtide kristalle.

Räni karbiidi- või galliumnitriidi kristallide kasvuprotsessides (näiteks aurufaas epitaxy cvd või füüsilise auruveo PVT) puhul kasutatakse grafiidikiikid toorainete hoidmiseks ja kontrollitud kasvukeskkonna tagamiseks. Tiigli keemiline inersus tagab, et see ei reageeri keemiliselt pooljuhtide materjaliga kõrgel temperatuuril, säilitades sellega materjali kõrge puhtuse. Samal ajal aitab grafiidi tiigli hea soojusjuhtivus moodustada ühtlase temperatuurigradiendi, pakkudes ideaalseid tingimusi kristallide kasvuks ning vähendades lisandeid ja struktuurilisi defekte.

Grafiidi tiigikute keemiline inersus on pooljuhtmaterjalide puhastamise võtmeomadus. Selle kõrge puhtusastmega grafiidimaterjal võib eraldada välise reostuse ja takistada lisandite sisenemist sula pooljuhtmaterjali. Grafiidi tiigli pinda saab ka kaeta (näiteks räni karbiidikate), et suurendada selle oksüdatsiooniresistentsust ja korrosioonikindlust, tagades veelgi tootmisprotsessi kõrge puhtuse ja kõrge stabiilsuse.