Sulatatud kvartsist pjedestaal

Pooljuhtide valmistamisel toimib sulatatud kvartspostament kvartspaadi tugistruktuurina, mis hoiab vahvleid. Konstantse temperatuuri hoidmisega aitab see saavutada ühtlast õhukese kile sadestumist, mis on pooljuhtseadmete jõudluse ja töökindluse jaoks kriitiline tegur. Pjedestaal tagab, et soojus- ja valgusjaotus protsessikambris on ühtlane, parandades seeläbi sadestamisprotsessi üldist kvaliteeti.

Sulatatud kvartsmaterjali eelised

1.High Temperature Resistance

Sulatatud kvartspostamendi pehmenemistemperatuur on ligikaudu 1730 °C, mis võimaldab sellel taluda pikaajalist kasutamist temperatuurivahemikus 1100 °C kuni 1250 °C. Lisaks võib see taluda lühiajalist kokkupuudet temperatuuridega kuni 1450 °C.

2. Korrosioonikindlus

Sulatatud kvartspostament on enamiku hapete suhtes keemiliselt inertne, välja arvatud vesinikfluoriidhape. Selle happekindlus ületab keraamikat 30 korda ja roostevaba terast 150 korda. Kõrgematel temperatuuridel ei suuda ükski teine ​​materjal vastata sulatatud kvartsi keemilisele stabiilsusele, mistõttu on see ideaalne valik karmides keemilistes keskkondades.

3. Termiline stabiilsus

Fused Quartz Pjedestaali üks silmapaistvamaid omadusi on selle minimaalne soojuspaisumistegur. See omadus võimaldab tal ilma pragunemiseta vastu pidada tõsistele temperatuurimuutustele. Näiteks saab seda kiiresti kuumutada temperatuurini 1100 °C ja seejärel kasta toatemperatuuril vette, ilma et see kahjustaks, mis on suure pingega tootmisprotsesside oluline omadus.

Tootmisprotsess

Fused Quartz Pjedestaali tootmisprotsessi kontrollitakse hoolikalt, et tagada kõrgeimad kvaliteedistandardid. Pjedestaalid on toodetud termovormimis- ja keevitusprotsesside abil, mis viiakse läbi puhta ruumi keskkonnas, mille klass on 10 000 või kõrgem. Järgnev puhastamine ülipuhta veega (18 MΩ)tagab veelgi toote puhtuse ja toimivuse. Iga sulatatud kvartspostament läbib range kontrolli, puhastamise ja pakendamise klassi 1000 või kõrgemas puhasruumis, et vastata pooljuhtide valmistamise rangetele nõuetele.

Kõrge puhtusastmega läbipaistmatu kvartsmaterjal

Kuumuse ja valguse tõhusaks blokeerimiseks kasutab sulatatud kvartspostament kõrge puhtusastmega läbipaistmatut kvartsmaterjali. Selle materjali ainulaadsed omadused suurendavad pjedestaali võimet säilitada protsessikambris stabiilset ja ühtlast temperatuuri, tagades seeläbi ühtlase kvaliteedi vahvlitele õhukese kile sadestumisel.

Lai valik rakendusi

Sulatatud kvartsi pjedestaali erakordsed omadused muudavad selle sobivaks mitmesugusteks rakendusteks pooljuhtide tööstuses. ALD-protsessides toetab see õhukese kile kasvu täpset kontrolli aatomitasandil, mis on hädavajalik täiustatud pooljuhtseadmete tootmiseks. LPCVD protsesside ajal aitavad pjedestaali termiline stabiilsus ja valgust blokeerivad omadused kaasa ühtlasele kile sadestumisele, parandades seadme jõudlust ja tootlikkust.

Difusiooniprotsessides tagavad Fused Quartz Postamenti kõrge temperatuuritaluvus ja keemiline inertsus pooljuhtmaterjalide usaldusväärse ja ühtlase dopimise. Need protsessid on pooljuhtseadmete elektriliste omaduste määratlemisel kriitilise tähtsusega ning kvaliteetsete materjalide, nagu sulatatud kvarts, kasutamine on optimaalsete tulemuste saavutamiseks hädavajalik.