CVD keemilise aurustamise-sadestamise ahjud

Semicorex CVD keemilise aurustamise-sadestamise ahjud muudavad kvaliteetse epitaksi valmistamise tõhusamaks. Pakume eritellimusel ahjulahendusi. Meie CVD Chemical Vapor Deposition ahjudel on hea hinnaeelis ja need katavad enamiku Euroopa ja Ameerika turust. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex CVD keemilise aurustamise-sadestamise ahjusid, mis on mõeldud CVD ja CVI jaoks, kasutatakse materjalide sadestamiseks aluspinnale. Reaktsioonitemperatuur kuni 2200 °C. Massivoolu regulaatorid ja moduleerivad ventiilid koordineerivad reaktiiv- ja kandegaase nagu N, H, Ar, CO2, metaan, ränitetrakloriid, metüültriklorosilaan ja ammoniaak. Sadestatud materjalide hulka kuuluvad ränikarbiid, pürolüütiline süsinik, boornitriid, tsinkseleniid ja tsinksulfiid. CVD keemilise aurustamise-sadestamise ahjudel on nii horisontaalsed kui ka vertikaalsed struktuurid.

Rakendus:SiC kate C/C komposiitmaterjalile, SiC kate grafiidile, SiC, BN ja ZrC kate kiududele jne.

Semicorex CVD keemilise aurustamise-sadestamise ahjude omadused

1.Kvaliteetsetest materjalidest valmistatud vastupidav disain pikaajaliseks kasutamiseks;

2.Täpselt juhitud gaasi tarnimine massivoolu regulaatorite ja kvaliteetsete ventiilide abil;

3. Varustatud turvaelementidega, nagu ülekuumenemise kaitse ja gaasilekke tuvastamine, et tagada ohutu ja usaldusväärne töö;

4. Mitme temperatuuri reguleerimise tsooni kasutamine, suurepärane temperatuuri ühtlus;

5. Spetsiaalselt disainitud sadestuskamber, millel on hea tihendus ja suurepärane saastevastane jõudlus;

6. Kasutades mitut sadestuskanalit ühtlase gaasivooluga, ilma sadestamise surnud nurkade ja täiusliku sadestuspinnata;

7. Sellel on sadestamise protsessi käigus tõrva, tahke tolmu ja orgaaniliste gaaside töötlemine

CVD ahju spetsifikatsioonid
Mudel	Töötsooni suurus (L × K × P) mm	Max Temperatuur (°C)	Temperatuur Ühtlikkus (°C)	Ülim vaakum (Pa)	Rõhu suurenemise kiirus (Pa/h)
LFH-6900-SiC	600 × 600 × 900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-SiC	1000 × 1000 × 1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-SiC	1200 × 1200 × 2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-SiC	1500 × 1500 × 3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-SiC	2500 × 2000 × 3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-SiC	300 × 500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-SiC	600 × 800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-SiC	800 × 1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-SiC	1100 × 2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-SiC	2600 × 3200	1500	±10	1-100	0.67

* Ülaltoodud parameetreid saab kohandada vastavalt protsessi nõuetele, need ei ole aktsepteerimisstandardid, detaili spetsifikatsioon. märgitakse tehnilises pakkumises ja lepingutes.