6-tolline N-tüüpi SiC vahvel

Semicorex pakub erinevat tüüpi 4H ja 6H SiC vahvleid. Oleme aastaid olnud vahvlite tootja ja tarnija. Meie topeltpoleeritud 6-tollisel N-tüüpi SiC vahvlil on hea hinnaeelis ja see katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorexil on täielik ränikarbiidist (SiC) vahvlitoodete sari, mis sisaldab 4H ja 6H substraate N-tüüpi, P-tüüpi ja kõrge puhtusastmega poolisoleerivate vahvlitega, need võivad olla epitaksiga või ilma. Meie 4-tolline N-tüüpi SiC (ränikarbiid) substraat on kõrgekvaliteediline vahvel, mis on valmistatud N-tüüpi dopinguga ränikarbiidi monokristallidest, mis on topeltpoleeritud.

6-tollist N-tüüpi SiC Waferit kasutatakse peamiselt uutes energiasõidukites, kõrgepingeülekandes ja alajaamades, kodumasinates, kiirrongides, elektrimootorites, fotogalvaanilistes inverterites, impulss-toiteallikates ja muudes valdkondades, mille eeliseks on seadmete vähendamine. energiakadu, parandades seadmete töökindlust, vähendades seadmete suurust ja parandades seadmete jõudlust ning neil on asendamatud eelised jõuelektroonikaseadmete valmistamisel.

Üksused	Tootmine	Uurimine	Mannekeen
Kristalli parameetrid
Polütüüp	4H
Pinna orientatsiooni viga	<11-20 >4±0,15°
Elektrilised parameetrid
Dopant	n-tüüpi lämmastik
Vastupidavus	0,015-0,025 oomi · cm
Mehaanilised parameetrid
Läbimõõt	150,0±0,2 mm
Paksus	350±25 μm
Esmane tasane orientatsioon	[1-100]±5°
Esmane lame pikkus	47,5±1,5 mm
Teisene korter	Mitte ühtegi
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤15 μm
LTV	≤3 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm * 5mm)	≤10 μm (5 mm * 5 mm)
Vibu	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
lõime	≤35 μm	≤45 μm	≤55 μm
Esiosa (Si-pinna) karedus (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Struktuur
Mikrotoru tihedus	<1 tk/cm2	<10 tk/cm2	<15 tk/cm2
Metalli lisandid	≤5E10 aatomit/cm2		SEE
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	SEE
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	SEE
Esiosa kvaliteet
Esiosa	Ja
Pinnaviimistlus	Si-face CMP
Osakesed	≤60ea/vahv (suurus≥0,3μm)	SEE
Kriimud	≤5ea/mm. Kumulatiivne pikkus ≤ Läbimõõt	Kumulatiivne pikkus≤2*Läbimõõt	SEE
Apelsinikoor/süvendid/plekid/triibud/praod/saastumine	Mitte ühtegi		SEE
Serva laastud/sõled/murd/kuuskantplaadid	Mitte ühtegi
Polütüüpsed alad	Mitte ühtegi	Kumulatiivne pindala≤20%	Kumulatiivne pindala≤30%
Eesmine lasermärgistus	Mitte ühtegi
Selja kvaliteet
Tagumine viimistlus	C-face CMP
Kriimud	≤5ea/mm, kumulatiivne pikkus ≤2*läbimõõt	SEE
Tagakülje defektid (servalõigud/tagasid)	Mitte ühtegi
Selja karedus	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Tagumine lasermärgistus	1 mm (ülemisest servast)
Edge
Edge	Chamfer
Pakendamine
Pakendamine	Epi-valmis koos vaakumpakendiga Mitme vahvliga kasseti pakend
*Märkused: "NA" tähendab, et taotlust pole. Üksused, mida pole mainitud, võivad viidata SEMI-STD-le.